1 靶材應用行業(yè)分類

1.1 裝飾、工模具鍍膜行業(yè)靶材鉻靶（Cr），平面鉻靶，噴涂鉻管；

鉻硅靶90/10Wt%,50/50at%,25/75at%(電弧，平面靶，旋轉管靶）；

鈦鋁靶50/50at%,70Ti/30at%,67AL/33at%（電弧，平面靶，旋轉管靶）；

鈦鋁硅靶1:1:1at%,1:2:1at%(電弧，平面靶，旋轉管靶）；

鈦靶，鈦管靶，鋯靶；

金靶，玫瑰金靶；

石墨靶，鎳靶，鋁靶，不銹鋼靶等。

1.2 太陽能光伏光熱行業(yè)靶材

氧化鋅鋁靶ZAO； 硅靶；鈦靶、氧化鈦靶；鋁靶；鉻靶、鎳鉻；鋅鋁、鎢、鉬

靶等。

1.3 建筑汽車玻璃大面積鍍膜

硅鋁靶、旋轉硅鋁靶；氧化鈦靶；錫靶；鉻靶；硅靶；鈦靶、不銹鋼靶。

1.4 平面顯示行業(yè)

ITO 靶；二氧化硅靶；高純硅靶5-7N；高純鉻靶3N5；TFT 鉬靶；鉬鈮靶；鎢鈦

靶90/10wt%；高純鋁靶等。

1.5 光學，光通信，光存儲行業(yè)

銀靶；鉭靶；硫化鋅靶；高純鋁靶；硅靶。

常用靶形有電弧靶、平面靶、旋轉管靶。

2.1 平面靶材利用率提高方式

（1）改變磁鐵運動方向

（2）改變磁力線分布寬度和高度

2.2 靶材性能與要求

靶材質量直接影響著薄膜的物理、外觀、力學等性能，因而對靶材質量的評判較為嚴格，主

要應滿足以下要求：雜質及氧含量低、純度高；致密度高；成分與組織結構均勻；晶粒尺寸細小。

2.3 劣質靶材缺陷

a)和b)為熔煉鉻靶燒蝕后靶面情況

c)靶面有凹痕為引弧針安裝不當導致的

d)水晶鍍膜靶材密度不夠，燒蝕后區(qū)別

e)等離子噴涂氧化鈦旋轉管靶不良

廣州市尤特新材料有限公司（以下簡稱“尤特”），成立于2003年，位于羊城廣州的北面-花都,占地總面積約3萬平方米。尤特是一家專注于時尚消費電子產業(yè)、節(jié)能綠色環(huán)保產業(yè)、新材料新技術開發(fā)和應用的重要高新技術企業(yè)。尤特以生產信息存儲記錄材料為起點，經過10多年的開拓與發(fā)展，產業(yè)技術不斷迭代與升級，尤特的技術及應用涉獵范圍逐步擴大，其中主要包括：真空鍍膜靶材；環(huán)保（UV/水性）材料；觸控顯示材料；印刷技術及材料；信息存儲材料、導電散熱材料等。尤特一直倡導“新材料、促環(huán)保、美生活”企業(yè)使命。尤特遵循科學體系管理，先后通過《質量管理體系》、《環(huán)境管理體系》、《職業(yè)健康與安全管理體系》認證并有效運行，產品符合全部環(huán)境及安全標準；獲得SONY GP綠色合作伙伴全部認證等。尤特重視產品研發(fā)及技術創(chuàng)新，先后與"武漢大學"、"華南理工大學"、"中南大學"等高校、研究所建立"產學研"合作機制，并承擔多項省市立項的科研項目，公司目前已擁有幾十項自主研發(fā)新興材料及工藝的知識產權，是廣州市扶持科技型要點培育上市企業(yè)。尤特先后獲得相關機構的授予多個榮譽：如“國家生產力促進獎、國家有名商標、廣東省守合同重信用企業(yè)、廣東省雇主責任示范企業(yè)、廣州市安全生產標準化達標企業(yè)、廣州市工程技術研發(fā)中心、廣州科技小巨人企業(yè)、地方納稅企業(yè)”等榮譽。尤特全體同仁秉承“創(chuàng)造價值，分享價值“的核心價值觀，借鑒以往成功管理運營經驗，持續(xù)深挖磁控濺射鍍膜材料下游應用市場，不斷拓寬市場應用領域，做優(yōu)做強鍍膜材料產業(yè),將公司打造為--磁控濺射靶材行業(yè)者。

地區(qū)：廣東 廣州 花都區(qū)
網址: http://UVTMCOM.glass.com.cn

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