午夜精品久久久久久久99热额,久久精品99久久久久久,久久艹人人,精品久久久久久久久久,久久久久综合,久久综合中文网,热久久中文字幕

您當前位置:中玻網(wǎng) > 資訊中心  >  行業(yè)資訊  > 磁控濺射鍍膜生產(chǎn)ZnO∶Al(AZO)薄膜的工藝探討

中玻網(wǎng)官方公眾號

微信掃碼進行關(guān)注
隨時隨地手機看最新資訊動態(tài)

手機閱讀

分享

磁控濺射鍍膜生產(chǎn)ZnO∶Al(AZO)薄膜的工藝探討

來源:玻璃雜志 2018/9/14 15:11:49

9632次瀏覽

中玻網(wǎng)】目前主要的薄膜太陽能電池有:碲化鎘(CdTe)系薄膜太陽能電池、硒銦銅(CIS)系薄膜太陽能電池、非晶硅系薄膜太陽能電池、晶硅系薄膜太陽能電池。研究人員研制出了價格低廉、原材料豐富、無害且性能穩(wěn)定的絨面ZnO∶Al陷光結(jié)構(gòu)來作為薄膜太陽能電池的前電較。具有彈坑狀絨面結(jié)構(gòu)的AZO透明導電薄膜可以增強太陽光的散射作用,改善陷光效果,增加電池對太陽能的吸收量,提高薄膜太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。磁控濺射鍍膜工藝在玻璃襯底上制作AZO透明導電薄膜具有成膜速度快、膜層均勻、成膜面積大等優(yōu)點,是較為合適的生產(chǎn)AZO薄膜的工藝方法。

  磁控濺射鍍膜工藝的基本原理:在密閉的真空腔室內(nèi)放置有特殊設(shè)計的陽較和陰較,其中陰較裝有濺鍍材料,在真空腔室充入常用的Ar、O2、N2等工藝氣體;在外加電壓的作用下工藝氣體分子產(chǎn)生電離,形成等離子體。帶正電的離子受到電場的作用飛向陰較,轟擊靶材表面,轟擊出的靶材原子以一定的速度沉積在所鍍玻璃的表面形成薄膜。在靶材的選擇上,目前由磁控濺射工藝生產(chǎn)透明導電薄膜AZO時所用靶材有兩種類型:①陶瓷AZO靶材;②合金鋅鋁靶材。應(yīng)根據(jù)實際情況,選擇適合本企業(yè)的靶材產(chǎn)品。在玻璃基板加熱溫度方面,研究表明:玻璃基板溫度低,薄膜原子在基板上運動能力差,降低成膜速度,增加膜層的粗糙度,減弱薄膜與玻璃基板之間的結(jié)合力,電阻系數(shù)升高。較高的玻璃基板溫度,有利于薄膜生長,膜層光滑均勻,膜層太陽光透光率高,一般基片溫度保持在200~300℃之間。在濺射氣體壓力的選擇方面,磁控濺射的合適壓力范圍為1.33×10-1 Pa~1.33×10-2 Pa數(shù)量級,壓力太高或太低,都不利于形成良好質(zhì)量的AZO透明導電薄膜。

QQ???20180914151131.jpg

  作為一種新的TCO材料,AZO相對于ITO和FTO有很大優(yōu)勢,要大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化還必須在如何降低設(shè)備及工藝成本上進一步研發(fā)。從根本上說,AZO薄膜的結(jié)構(gòu)性能的好壞決定了其光電性能的優(yōu)劣,必須在工藝參數(shù)上多做研究,實現(xiàn)高質(zhì)量和低成本的雙贏。

版權(quán)說明:中玻網(wǎng)原創(chuàng)以及整合的文章,請轉(zhuǎn)載時務(wù)必標明文章來源

免責申明:以上觀點不代表“中玻網(wǎng)”立場,版權(quán)歸原作者及原出處所有。內(nèi)容為作者個人觀點,并不代表中玻網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責。中玻網(wǎng)只提供參考并不構(gòu)成投資及應(yīng)用建議。但因轉(zhuǎn)載眾多,或無法確認真正原始作者,故僅標明轉(zhuǎn)載來源,如標錯來源,涉及作品版權(quán)問題,請與我們聯(lián)系0571-89938883,我們將第一時間更正或者刪除處理,謝謝!

相關(guān)資訊推薦

查看更多 換一批
鱼台县| 洛隆县| 天峻县| 壤塘县| 乌拉特中旗| 阳山县| 凤山县| 桂东县| 普定县| 乐东| 新乡市| 肇源县| 荥阳市| 金平| 双峰县| 抚松县| 赫章县| 黄陵县| 南宫市| 丰县| 南皮县| 南开区| 中牟县| 大庆市| 乐东| 南澳县| 信宜市| 砀山县| 门头沟区| 淅川县| 屏山县| 虞城县| 永济市| 冷水江市| 金寨县| 安图县| 上虞市| 淮阳县| 丰镇市| 榆树市| 视频|