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玻璃鍍膜工藝中的薄膜形成過(guò)程

來(lái)源:聚玻資訊 2019/8/12 13:38:15

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中玻網(wǎng)】在真空環(huán)境中,蒸發(fā)材料在蒸發(fā)源的作用下,以原子或分子狀態(tài)向任意方向直線運(yùn)動(dòng),當(dāng)遇到溫度較低的表面時(shí),便被吸附,由于粒子的不斷增加,逐漸形成了膜層。從開(kāi)始蒸發(fā)到基片表面成膜,可分為四個(gè)階段。

  (1)成核一小島階段當(dāng)入射的蒸發(fā)材料粒子被基片吸附,在基片上形成膜層的初始階段是出現(xiàn)大量的晶核,核的直徑約2nm,核間距離為30nm左右。被吸附的原子越來(lái)越多,形成了不同形狀的小島。瞬間內(nèi)原子相互結(jié)合的過(guò)程如下:兩個(gè)各自單獨(dú)存在的原子一吸附的原子越來(lái)越多一接觸處逐漸變大一原子連成小島。

  (2)聚結(jié)階段由于蒸發(fā)材料蒸氣不斷地產(chǎn)生,使原來(lái)的小島各自為中心進(jìn)行擴(kuò)大連接而形成大島。先吸附在基片表面的原子已凝結(jié)成小島,而后到的蒸氣原子,不斷填充在島與島之間的空隙而聚結(jié)成大島。

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  (3)中間過(guò)程大島與大島的邊沿不規(guī)則地相連,形成網(wǎng)狀薄膜、溝道、通路、孔眼階段。蒸發(fā)材料的蒸氣的數(shù)量逐漸增多,大島與大島之間形成蜂窩狀結(jié)構(gòu),空隙之間開(kāi)始連通,但連通處尚不夠致密。

  (4)成膜階段在溝道階段的基礎(chǔ)上,隨著蒸發(fā)材料蒸氣原子不斷地吸附,在溝道周圍不斷地填充,逐漸形成膜層,此薄膜在微觀上其厚度并不是均勻一致的,而是凹凸不平的。

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