午夜精品久久久久久久99热额,久久精品99久久久久久,久久艹人人,精品久久久久久久久久,久久久久综合,久久综合中文网,热久久中文字幕

您當(dāng)前位置:中玻網(wǎng) > 資訊中心  >  行業(yè)資訊  > 日本開發(fā)出大型單結(jié)晶鉆石晶圓制造技術(shù)
  • 熱點(diǎn)新聞

  • 按周
  • 按月

中玻網(wǎng)官方公眾號(hào)

微信掃碼進(jìn)行關(guān)注
隨時(shí)隨地手機(jī)看最新資訊動(dòng)態(tài)

手機(jī)閱讀

分享

日本開發(fā)出大型單結(jié)晶鉆石晶圓制造技術(shù)

來源:中國水晶網(wǎng) 2009/11/17 0:00:00

18433次瀏覽

    日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所(產(chǎn)綜研)鉆石研究中心單結(jié)晶底板開發(fā)小組開發(fā)出了大型單結(jié)晶鉆石晶圓制造技術(shù)。該技術(shù)結(jié)合運(yùn)用了兩種技術(shù):由籽晶直接制造薄板狀鉆石單結(jié)晶的“直接晶圓化技術(shù)”,以及通過依次改變生長方向、反復(fù)進(jìn)行氣相沉積合成(CVD)實(shí)現(xiàn)了結(jié)晶大型化的技術(shù)。鉆石擁有高硬度、高熱傳導(dǎo) 率、較寬的光透過波長頻帶與帶隙、低介電率以及優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性等有用的物性。因此,電子業(yè)界希望用其制造出性能超過硅(Si)類及碳化硅(SiC)類的 元件。不過,能夠大量生產(chǎn)大型單結(jié)晶鉆石晶圓的技術(shù)卻一直未得以確立。

  此前的工藝技術(shù)為了得到板狀鉆石,通常將大型單結(jié)晶(晶錠)切成薄片,這處理,形成的切縫就會(huì)產(chǎn)生約1/3的加工損失,而且在晶圓加工后還要進(jìn)行背面研磨等復(fù)雜的工序,這些均是有助于實(shí)現(xiàn)實(shí)用化的大量生產(chǎn)的障礙。

  產(chǎn)綜研為了解決上述課題,從2003年開始就一直在研究利用微波等離子CVD法對(duì)大型單結(jié)晶鉆石進(jìn)行合成的方法。截止目前已在大小為1克拉單結(jié)晶鉆石的合成方面獲得了成功。

  該研究發(fā)現(xiàn),通過在1200℃附近對(duì)表面溫度進(jìn)行準(zhǔn)確控制,并準(zhǔn)確控制向甲烷及氫形成的反應(yīng)氣體中添加的氮的含量,可控制方位不同的異常結(jié)晶的生長。另外,產(chǎn)綜研表示,通過優(yōu)化鉆石結(jié)晶的生長條件,可實(shí)現(xiàn)比原來快5倍以上的50μm/小時(shí)的合成。

版權(quán)說明:中玻網(wǎng)原創(chuàng)以及整合的文章,請(qǐng)轉(zhuǎn)載時(shí)務(wù)必標(biāo)明文章來源

免責(zé)申明:以上觀點(diǎn)不代表“中玻網(wǎng)”立場(chǎng),版權(quán)歸原作者及原出處所有。內(nèi)容為作者個(gè)人觀點(diǎn),并不代表中玻網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)。中玻網(wǎng)只提供參考并不構(gòu)成投資及應(yīng)用建議。但因轉(zhuǎn)載眾多,或無法確認(rèn)真正原始作者,故僅標(biāo)明轉(zhuǎn)載來源,如標(biāo)錯(cuò)來源,涉及作品版權(quán)問題,請(qǐng)與我們聯(lián)系0571-89938883,我們將第一時(shí)間更正或者刪除處理,謝謝!

相關(guān)資訊推薦

查看更多 換一批
  • 中玻網(wǎng) 領(lǐng)航者說 專訪高力威陸思遠(yuǎn)總裁(一)

    【中玻網(wǎng)】磨邊立企智能強(qiáng)企高力威全球玻璃深加工技術(shù)的領(lǐng)航者二十多年如一日?qǐng)?jiān)守初心、匠心、真心,致力讓“中國標(biāo)準(zhǔn)”成為“世界標(biāo)準(zhǔn)”玻璃深...

    中玻網(wǎng)

    2025-05-07
  • 中力玻璃閃耀2025沙特國際玻璃門窗展 深耕中東綠色建筑市場(chǎng)

    【中玻網(wǎng)】2025年5月5日至7日,第六屆沙特阿拉伯國際玻璃門窗展在沙特利雅得國際會(huì)議展覽中心盛大舉行。作為中東地區(qū)最具影響力的行業(yè)盛...

    中力玻璃

    2025-05-09
  • 《工程玻璃行業(yè)自律倡議書》

    【中玻網(wǎng)】反對(duì)內(nèi)卷依法競(jìng)爭(zhēng)協(xié)同創(chuàng)新共筑高質(zhì)量發(fā)展新生態(tài)《工程玻璃行業(yè)自律倡議書》協(xié)會(huì)各會(huì)員單位、所有工程玻璃行業(yè)同仁:2024年7月3...

    廣東玻璃協(xié)會(huì)

    2025-05-08
昌吉市| 安图县| 抚宁县| 平昌县| 庄河市| 治多县| 双辽市| 石景山区| 荆州市| 天水市| 岳池县| 龙岩市| 万州区| 嵩明县| 普兰县| 兴安县| 海兴县| 禹城市| 基隆市| 沾益县| 黑水县| 大足县| 延庆县| 辉南县| 揭阳市| 习水县| 清镇市| 绥德县| 新营市| 柳江县| 迁安市| 鄂州市| 时尚| 龙门县| 台山市| 水富县| 始兴县| 平度市| 临安市| 登封市| 江北区|